| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 清华大学湿法清洗腐蚀系统采购项目 | ||
| 品目 | 货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备 | ||
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2022年10月31日 17:06 |
| 获取招标文件时间 | 2022年10月31日至2022年11月07日 每日上午:8:00 至 12:00 下午:13:00 至 16:30（北京时间，法定节假日除外） | ||
| 招标文件售价 | ￥0 | ||
| 获取招标文件的地点 | http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn | ||
| 开标时间 | 2022年11月22日 09:00 | ||
| 开标地点 | 北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第三评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。 | ||
| 预算金额 | ￥2785.000000万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 李美珍 | ||
| 项目联系电话 | 62785713 | ||
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 采购单位地址 | 清华大学华业大厦1区5层实验室管理处 | ||
| 采购单位联系方式 | 李美珍，62785713 | ||
| 代理机构名称 | 详见公告正文 | ||
| 代理机构地址 | 详见公告正文 | ||
| 代理机构联系方式 | 详见公告正文 | ||
项目概况 清华大学湿法清洗腐蚀系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年11月22日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第2022220号
项目名称：清华大学湿法清洗腐蚀系统采购项目
预算金额：2785.0000000 万元（人民币）
采购需求：
| 包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
| 01 | 湿法清洗腐蚀系统 | 1套 | 否 |
本次采购的1套湿法清洗腐蚀系统包含：通用RCA清洗台、专用RCA清洗台、HF/BOE 腐蚀台、有机剥离台、KOH/TMAH腐蚀台、湿法（硫酸）去胶台（去K+）6台设备。
设备用途介绍 ：通用RCA清洗台用于硅/玻璃的原料清洗，以及金属镀膜前所有清洗工艺；专用RCA清洗台用于金属镀膜后清洗以及键合前清洗等清洗工艺；HF/BOE腐蚀台用于MEMS器件中湿法腐蚀工艺以及氧化硅去除工艺；有机剥离台用于金属镀膜后剥离（Lift Off）工艺和湿法去胶工艺；KOH/TMAH腐蚀台用于MEMS器件中结构释放、湿法减薄以及硅杯腐蚀等工艺；湿法（硫酸）去胶台（去K+）用于湿法去胶工艺。
简要技术指标：
通用RCA清洗台
1）适用晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）批量处理25个晶圆；
3）颗粒数（6、8英寸晶圆）：≤20@≥0.3μm；
4）干进干出（甩干）处理；
5）槽体配置：SPM槽+H-QDR槽+DHF槽+QDR槽+SC1槽+QDR槽+SC2槽+QDR槽；
专用RCA清洗台
1）适用晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）批量处理25个晶圆；
3）颗粒数（6、8英寸晶圆）：≤30@≥0.16μm；
4）干进干出（IPA干燥）处理；
5）槽体配置：SPM槽+H-QDR槽+DHF槽+QDR槽+SC1槽+QDR槽+SC2槽+QDR槽；
6）SC-1槽和其后QDR槽配备兆声清洗：频率950KHz，功率大小可调；
HF/BOE腐蚀台
1）适用晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）批量处理25个晶圆；
3）颗粒数（6、8英寸晶圆）：≤20@≥0.3μm；
4）干进干出（甩干）处理；
5）槽体配置：BOE槽+QDR槽+DHF槽+QDR槽；
6）BOE槽药液加热方式：在线独立温控加热，且槽体具有溢流循环功能；
有机剥离台
1）适用晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）批量处理25个晶圆；
3）颗粒数（6、8英寸晶圆）：≤20@≥0.3μm；
4）干进干出（甩干）处理；
5）槽体配置：NMP1槽+ NMP2槽+ IPA1槽+ IPA2槽+QDR槽；
6）NMP1槽、NMP2槽、 IPA1槽、IPA2槽配备兆声控制：频率950KHz，功率大小可调；
KOH/TMAH腐蚀台
1）适用晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）具备单面腐蚀Si功能（另一面做贴膜保护）；
3）干进干出（甩干）处理；
4）均匀性≤5%；
5）配备2套独立管路，可满足KOH、四甲基氢氧化铵（TMAH）切换使用；
湿法（硫酸）去胶台（去K+）
1）适用晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）批量处理25个晶圆；
3）颗粒数（6、8英寸晶圆）：≤20@≥0.3μm；
4）干进干出（甩干）处理；
5）药液加热方式：在线独立温控加热，且槽体具有溢流循环功能；
6）槽体配置：SPM1槽+ SPM2槽+H-QDR槽+ DHF槽+QDR槽。
合同履行期限：合同签订后240日内完成设备交货、安装及调试工作。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
三、获取招标文件
时间：2022年10月31日 至 2022年11月07日，每天上午8:00至12:00，下午13:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年11月22日 09点00分（北京时间）
开标时间：2022年11月22日 09点00分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第三评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
无
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：清华大学华业大厦1区5层实验室管理处
联系方式：李美珍，62785713
2.项目联系方式
项目联系人：李美珍
电 话： 62785713
